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Résumé

Au cours des 10 dernières années, les technologies de microfabrication précédemment utilisées dans la réalisation de puces microélectroniques, de systèmes microélectromécaniques (MEMS) et de capteurs (MMS), ont trouvé un nouvel usage dans la recherche en biologie. C’est particulièrement vrai dans le domaine de la “bio-ingénierie”, où les outils et techniques standards du MMS ont été adaptés à la fabrication de substrats microstructurés dont les dimensions et les géométries sont proches de celles des systèmes vivants. En résumé, le procédé de photolithographie couramment utilisé à cette fin est fondé sur l’isolation d’une couche de réserve photosensible sous un aligneur de masque UV qui contient le motif à graver. Les résolutions visées ne peuvent être obtenues qu’en utilisant une fine couche de chrome sur un substrat de verre ou de quartz.

L’acquisition du système de lithographie sans masque grâce à l’appel à projets « soutien équipement » du DIM ELICIT (μPG 101 de HEILDELBERG instruments) nous a permis de fabriquer des éléments microstructurés dont la taille varie de 1 µm à 10 µm (ordre de grandeur des cellules animales) dans des surfaces mesurant jusqu’à 10×10 cm2. Cet équipement très convivial est actuellement utilisé par une vingtaine de personnes issues de plusieurs équipes de recherche (ENS, Institut Curie, ESPCI, ENSCP) pour développer leurs projets.

De plus, le fait de disposer en interne d’un équipement de lithographie sans masque a réduit notre dépendance vis-à-vis de prestataires tiers et les délais de traitement induits (de 2 semaines à 2-3 jours). Ce nouvel équipement a aussi considérablement réduit nos coûts (~450 euros/masque avant→ même budget aujourd’hui pour l’équivalent de 50 masques imprimés).

Hommage à Maxime Dahan

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